椭圆偏振光谱仪

Ellipsometer

仪器型号：SE-VE-L

生产厂家：武汉颐光科技有限公司

主要技术指标：

1、膜厚测量范围：1nm-10um

2、光谱范围：400-800nm

3、光谱分辨率：＜0.4nm

应用领域：

1、薄膜材料的表面、界面特性、厚度及粗糙度测量；

2、借助光学常数，对各种功能材料的组份和结构进行表征、测量和分析。